工程车几种新型传感器之混凝土搅拌车微机械

从信号检测方式来看，微机械压力传感器分为压阻式和电容式两类，分别以体微机械加工技术和牺牲层技术为基础制造。从敏感膜结构来看，有圆形、方形、矩形、E形等多种结构。目前，压阻式压力传感器的精度可达0.05%～0.01％，年稳定性达0.1％/F.S，温度误差为0.0002％，耐压可达几百兆帕，过电压保护范围可达传感器量程的20倍以上，并能进行大范围下的全温补偿。微机械压力传感器的发展集中在高灵敏度的压力传感器和高温工作的压力传感器两个方面。
      利用SiO2上淀积的多晶硅或利用硅-硅直接结合再减薄形成的单晶硅膜加工出介质隔离的力敏电阻，力敏电阻之间由SiO2隔离，而SiO2下面的硅材料仍可以用微机械加工形成硅膜结构。这样就制成了微机械高温压力传感器。目前这种压力传感器已有商品出售。