工程车几种新型传感器之高空作业车微机械角

由于微机械加工技术难于加工高速转子这样复杂的结构，因此实际上所有的微机械陀螺的设计都放弃了传统陀螺中采用的转子结构而采用适宜于用微机械加工的振子结构。微机械振子式陀螺悬臂梁式振子陀螺的基本部分为一根正方形截面的长硅梁，其一端固定。我们取正方形截面的两个边的方向为X和Y轴，梁的长度方向为Z轴。那么，这个硅梁存在有两个正交的基本振动模式，即沿X方向的振动和沿Y方向的振动。通过外来激励（压电的或静电力的作用）使硅梁在X方向产生恒定的振动。在此状态下，如果硅梁有一个以Z方向为轴的转动，则由于哥氏力的作用，会在硅梁中激发出Y方向的振动，其振幅的大小与沿Z轴转动的角速度成正比。因此只要用电容法或其他方法测出Y方向振动的振幅就可以得到角速度的信息的原理比压力传感器或加速度传感器更为复杂而多样化。