LED外延片--衬底资料

　　3、化学稳定性好，在外延成长的温度和气氛中不简单分化和腐蚀

　LED外延片--衬底资料

　　衬底资料是半导体照明工业技能开展的柱石。不一样的衬底资料，需求不一样的外延成长技能、芯片加工技能和器材封装技能，衬底资料决议了半导体照明技能的开展道路。衬底资料的挑选首要取决于以下九个方面：

　　1、构造特性好，外延资料与衬底的晶体构造一样或附近、晶格常数失配度小、结晶性能好、缺点密度小

　　2、界面特性好，有利于外延资料成核且黏附性强

　　3、化学稳定性好，在外延成长的温度和气氛中不简单分化和腐蚀

    4、热学性能好，包含导热性好和热失配度小

　　5、导电性好，能制成上下构造

　　6、光学性能好，制造的器材所宣布的光被衬底吸收小

　　7、机械性能好，器材简单加工，包含减薄、抛光和切开等

　　8、价格低廉

　　9、大尺度，通常需求直径不小于2英寸。

　　衬底的挑选要一起满意以上九个方面是十分困难的。所以，目前只能通过外延成长技能的改变和器材加工技术的调整来习惯不一样衬底上的半导体发光器材的研制和出产。用于氮化镓研讨的衬底资料比较多，但是能用于出产的衬底目前只要三种，即蓝宝石Al2O3和碳化硅SiC衬底以及Si衬底。

 

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