事实上，许多ARM处理器芯片内部都含有存储器，称作片内存储器。片内存储器的存储空间可以通过指令进行配置，定义成片内Cache，或者片内SRAM，或者一部分片内Cache加一部分片内SRAM。例如.S3 C44 BO X和S3 C4510 B都有一个16KB的内嵌存储器，它有三种配置用法:8KB的Cache, 4KB的Cache和4KB的SRAM, 8KB的SHAM。
虽然从物理角度看，片内Cache和片内SRAM属于同一个内嵌的存储器的不同工作区，但是还是有区别的。前者能够减少访问内存次数，让数据和指令读取在片上进行，从而加快程序执行速度；但是Cache行的调进和淘汰是硬件自动完成的，对于程序员来说这些内容是透明的，不可控制。无法让那些反复使用的需要高速运行的程序常驻在片内存储器中。后者存储空间可以由程序员直接控制，运行过程具有可观察性。在应用软件规模不大的情况下，程序员能够做到掌控整个片内存储区指令/数据进出。因此嵌人式系统较多采用片内RAM配置而不是片内Cache配置。
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