分类： Delphi
2012-12-08 10:50:47
多晶炉产品的主要特点
主要特点:
1.独立加热器(顶,底,侧),单独控制优点,有效缩短运行时间,优化控制温度梯度
2.长晶过程中隔热笼和坩锅无运动优点,取消运动部件,更加稳定
3.可控制水冷热交换法优点,优化长晶工艺,更高的成晶率和利用率
4.长晶初期,坩锅底部中心开始向周围冷却优点,有利于形成凸形固液界面,便于杂质分凝
5.更安全的硬件设计以保护漏硅造成的危险优点,及时发现漏硅尽量避免危险,即使硅液泄漏,底部泄漏盘可起到对炉腔的保护作用
6.超压保护优点,避免超压引起的事故,对人与设备起到最大的保护
7.二次加料,上炉腔预留加料口优点,便于更大质量的单锭生产,提高有效利用率及降低能耗设备安全性可与ALD媲美,硅锭的性能超过GT
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